石英玻璃晶圓（Quartz Glass Wafer）
石英玻璃是晶圓是一種只含二氧化硅單一成份的特種玻璃。由于種類、工藝、原料的不同，國外常常叫做硅酸玻璃、石英玻璃、熔融石英、熔凝石英、合成熔融石英，以及沒有明確概念的透明、半透明、不透明石英制品等。
石英玻璃晶圓在半導體、光學等行業中應用非常廣泛，隨著半導體及光學技術的飛速發展，石英玻璃晶圓的需求量也在快速增長，下游廠商對石英玻璃晶圓加工精度的要求也愈發嚴格。為滿足下游廠商對于石英玻璃晶圓產品質量與數量的要求，解決石英玻璃晶圓加工制造過程當中加工效率低、產品精度差、檢驗包裝不規范等問題�；诳蛻魧嶋H使用反饋，參照硅類晶圓加工方法并結合石英玻璃基板的加工經驗，從材料制造、坯料制備、精密退火、多刀切割、成型加工、精密磨拋、成品檢驗和清洗包裝等方面對石英玻璃晶圓的加工工藝統籌開展了研究。